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    미래청암(주) 제품소개 입니다.

    반도체장비

    • 항온기의 제어장치
    • 항온기
    • 항온기 동작중의 열상 사진

    항온기의 냉각 동작 시 열영상 사진

    제품 소개

    • 화학물질 중앙 공급장치 (Central Chemical Supply System; CCSS)에 탑재되어 반도체 웨이퍼의 연마에 사용되는 슬러리 용액의 공정온도 조절
    • 반도체 제조 시설의 내부 온도나 공정에 상관없이 설정 온도에 따라 슬러리 용액을 가열/냉각하여 항온 유지
    • 그 밖에 반도체 장비에 쓰이는 화학물질의 온도 유지, 실험실이나 제품 양산에 사용되는 독성 화학물질 등의 온도를 유지하는데 활용

    항온기 가열/냉각 동작에 따른 온도 변화 그래프

    제품 사양

    MC TCM-30C 사양
    항목 사양 비고
    크기(mm) 298 X 486 X 451 손잡이, 콘넥터 등 돌출부 제외
    전원 1Ø, 220 VAC / 50 ~ 60 Hz
    소비 전력 4.64 kW
    입력 (INPUT) 30H Peltier Power, TCM Block Temp, Tank Temp Supply Tank
    20H(A) Peltier Power, TCM Block Temp, Tank Temp Mixing A Tank
    20H(B) Peltier Power, TCM Block Temp, Tank Temp Mixing B Tank
    출력 (OUTPUT) DC 48 V
    온도제어범위 10 ℃ ~ 50℃

    MC TCM-30C 외관 및 명칭

    1. ① Touch Screen
    2. ② Power On/Off Switch
    3. ③ EMO On/Off Switch
    4. ④ Cooling Fan
    5. ⑤ Main Power ELB Switch
    6. ⑥ Sensor, Power Connector
    7. ⑦ Tank Temp. Connector
    8. ⑧ Main Power
    9. ⑨ I/O Connector
    10. ⑩ RS 232 Connector
    MC TCM-30H 사양
    항목 사양 비고
    Dimension(mm) 146 X 164 X 416
    Temp. Operation Range 0 ℃ ~ 50 ℃
    Cooling Capacity (Qc) 1,920 watt @PCW 18℃, 48V
    Heating Capacity (Qh) 1,920 watt @PCW 18℃, 48V
    Temperature Sensor RTD (PT 100) Slurry Block
    Thermostat 100℃(Slurry Block), 50℃(Cooling Block) N.C (Normal Closed)
    PCW Line 1/2 Inch SUS Tube Lock Fitting
    Slurry Line 3/4 Inch PFA Tube Tube Connector (Union)
    Electric Connection Power Connector MS3102A 22-22P(4pin)
    Sensor Connectorr MS3102A 18-1P(10pin) RTD, Thermostat
    Weight 12.5kg

    MC TCM-30H 외관 및 명칭

    1. ① 열전소자 전원 Connector
    2. ② Sensor Connector
    3. ③ Slurry Line
    4. ④ PCW Line
    MC TCM-20H 사양
    항목 사양 비고
    Dimension(mm) 146 X 164 X 356
    Temp. Operation Range 0 ℃ ~ 50 ℃
    Cooling Capacity (Qc) 1,150 watt @PCW 18℃, 48V
    Heating Capacity (Qh) 1,150 watt @PCW 18℃, 48V
    Temperature Sensor RTD (PT 100) Slurry Block
    Thermostat 100℃(Slurry Block), 50℃(Cooling Block) N.C (Normal Closed)
    PCW Line 1/2 Inch SUS Tube Lock Fitting
    Slurry Line 3/4 Inch PFA Tube Tube Connector (Union)
    Electric Connection Power Connector

    MS3102A 22-22P X(A 사양, 4pin)

    MS3102A 22-22P Y(B 사양, 4pin)
    Sensor Connectorr

    MS3102A 18-1P X(A 사양, 10pin)

    MS3102A 18-1P Y(B 사양, 10pin)

    		 RTD, Thermostat
    Weight 10.0kg

    MC TCM-20H 외관 및 명칭

    1. ① 열전소자 전원 Connector
    2. ② Sensor Connector
    3. ③ Slurry Line
    4. ④ PCW Line

    제품 소개

    장치 구성의 예

    • 반도체 장비, 화학 장비나 가스보관소 등 산업계 전반에 사용가능
    • 각종 화학물질에서 발생한 유해한 기체를 짧은 시간 내 강제 배기
    • 화학물질의 흄(fume), 열 배기, 인체에 해로운 증기, 발화성 가스등을 제거
    • 전기로 구동되는 부분이 없이 공압의 힘으로만 구동되어 방폭 문제가 없으며 장비 유지∙보수가 용이한 신뢰성 높은 장비임

    배기특성

    규 격 공급압력 (Bar) 이송 유량 (Liter/min) 에어 소모량 (Liter/min) 소음 (dBA) 운용온도 (℃) 비 고
    100 A 1.5 ~ 7.0 6,050 1,420(max) 80 -40 ~ 120 SUS, Al

    제품 용도

    • 화학물질 저장소(Chemical Cabinet) 혹은 화학 물질 사용 공정장비
    • 가스저장소(Gas Cabinet) 혹은 유해가스 사용공간
    • 가스 및 화학물질의 누설이 예상되는 곳이나 유출 이력이 있는 장비, 배관 연결 라인 등
    • 인화물질 보관 및 사용공간
    • 방폭이 필요한 곳에 설치된 Blower의 대체
    • 신속한 분진(Particle)의 제거가 필요한 공간이나 공정장비 등
    • 저진공(Low Vacuum)이 필요한 공정장비

    제품 사양

    • 댐버 일체형 (100A)
    • 플랜지 타입 AI(산화피막처리)
    • 플랜지 타입 SUS 304
    규격 플랜지 제품 치수

    규격 플랜지 제품 치수

    파이프 규격 A B C D E F BOLT CDA Input
    200A (SCH20) 330 290 216.4 203.6 300 200 M20X12 PT 1/4"
    200A (SCH20) 280 240 165.2 154.2 230 170 M20X8 PT 1/4"
    200A (SCH20) 210 175 114.3 104.5 150 110 M16X8 PT 1/4"